氮化硼是由氮原子和硼原子所構成的晶體。化學組成為43.6%的硼和56.4%的氮,具有四種不同的變體:六方氮化硼(HBN)、菱方氮化硼(RBN)、立方氮化硼(CBN)和纖鋅礦氮化硼(WBN)。
氮化硼問世于100多年前,最早的應用是作為高溫潤滑劑的六方氮化硼,不僅其結構而且其性能也與石墨極為相似,且自身潔白,所以俗稱:白石墨。
氮化硼(BN)陶瓷是早在1842年被人發現的化合物。國外對BN材料從第二次世界大戰后進行了大量的研究工作,直到1955年解決了BN熱壓方法后才發展起來的。美國金剛石公司和聯合碳公司首先投入了生產,1960年已生產10噸以上。
1957年R·H·Wentrof率先試制成功CBN,1969年美國通用電氣公司以商品Borazon銷售,1973年美國宣布制成CBN刀具。 [2]
1975年日本從美國引進技術也制備了CBN刀具。
1979年首次成功采用脈沖等離子體技術在低溫低壓下制備崩c—BN薄膜。
20世紀90年代末,人們已能夠運用多種物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)的方法制備c-BN薄膜。
從中國國內看,發展突飛猛進,1963年開始BN粉末的研究,1966年研制成功,1967年投入生產并應用于我國工業和尖端技術之中。